Оптико-механическое технологическое и контрольно-измерительное оборудование для литографии и изготовления фотошаблонов в производстве изделий микроэлектроники и МЭМС:
• микрофотонаборные и сканирующие лазерные генераторы изображений
• установки автоматического контроля подложек и фотошаблонов
• установки лазерной ретуши фотошаблонов
• для безмасковой литографии (генераторы)
• автоматического и ручного совмещения и экспонирования
• для технологии двустороннего совмещения и экспонирования